北京時(shí)間10月15日，荷蘭光刻機(jī)制造商阿斯麥(ASML)發(fā)布2020年第三季度業(yè)績(jī)報(bào)告。財(cái)報(bào)顯示，ASML該季營(yíng)收達(dá)39.58億歐元，較上年同期增長(zhǎng)32.5%;凈利潤(rùn)更是達(dá)到了10.62億歐元，同比增加69.4%。

受此消息影響，ASML股價(jià)大漲，市值躥升到1619億美元(約1.02萬(wàn)億人民幣)，創(chuàng)下歷史新高。

在新冠疫情影響下，全球半導(dǎo)體行業(yè)低迷，英特爾、賽靈思等芯片巨頭紛紛調(diào)低營(yíng)收預(yù)期，但ASML卻能逆勢(shì)增長(zhǎng)，繼續(xù)穩(wěn)坐光刻機(jī)設(shè)備領(lǐng)域的絕對(duì)霸主地位。

盡管ASML在股市上的良好表現(xiàn)引發(fā)關(guān)注，但公眾對(duì)其如何擴(kuò)張到今天的規(guī)模其實(shí)還知之甚少。

10月15日，鈦媒體國(guó)際事務(wù)合伙人、央視原著名國(guó)際對(duì)話主持人楊銳與《光刻巨人：ASML的崛起之路》作者、荷蘭Techwatch媒體公司CEO、荷蘭高科技學(xué)院董事總經(jīng)理瑞尼·雷吉梅克(Rene Raaijmakers)連線直播，圍繞“芯片之光 ：光刻機(jī)的那些事”話題進(jìn)行了深入探討，解析光刻機(jī)巨人ASML的成功崛起之路。

本書(shū)作者雷吉梅克曾是一位荷蘭媒體記者，其用長(zhǎng)達(dá)7年的時(shí)間采訪ASML的創(chuàng)始人和后來(lái)的多位CEO，還訪問(wèn)數(shù)十位核心員工，通過(guò)仔細(xì)查閱企業(yè)檔案，多方了解，重現(xiàn)ASML從誕生到走向輝煌的過(guò)程中那些驚心動(dòng)魄的時(shí)刻。本書(shū)譯者金捷幡則是一位在半導(dǎo)體行業(yè)20多年的從業(yè)者，在保留原書(shū)語(yǔ)言風(fēng)格的情況下，花費(fèi)近一年時(shí)間編撰完成。當(dāng)讀者努力通讀完全書(shū)后，會(huì)感到收獲滿滿并產(chǎn)生一種敬意。

實(shí)際上，早在上個(gè)世紀(jì)80年代，ASML還只是飛利浦旗下的一家合資小公司。短短四十載，ASML用先進(jìn)技術(shù)將昔日光刻機(jī)大國(guó)美國(guó)拉下神壇，并以迅雷不及掩耳之勢(shì)，戰(zhàn)勝日本光刻機(jī)巨頭佳能、尼康，成為世界上唯一能夠制造7nm及以下EUV(極紫外光刻)工藝的光刻機(jī)設(shè)備提供商。

雷吉梅克在連線直播中表示，四十年后的今天，人們應(yīng)該意識(shí)到，ASML所創(chuàng)造的光刻機(jī)設(shè)備，以及引領(lǐng)的行業(yè)變局，對(duì)于全世界來(lái)說(shuō)是一個(gè)奇跡。

飛利浦變賣(mài)家產(chǎn)，ASML登上歷史舞臺(tái)

如果不是華為遭遇芯片“卡脖子”危機(jī)，很多不關(guān)注芯片領(lǐng)域的人可能還是第一次聽(tīng)說(shuō)光刻機(jī)和ASML。

光刻機(jī)，被譽(yù)為“皇冠上的明珠”，其主要包含特殊的光和玻璃，類(lèi)似“投影儀+照相機(jī)”，以光為刀，將晶體管和設(shè)計(jì)好的電路圖投射到硅芯片上。

盡管看起來(lái)比較簡(jiǎn)單，但光刻機(jī)的重要性在于，其是整個(gè)芯片制造產(chǎn)業(yè)先進(jìn)工藝程度的核心指標(biāo)。設(shè)備是制造芯片的“武器”，沒(méi)有了光刻機(jī)設(shè)備，先進(jìn)制造就無(wú)從談起。

1965年4月，英特爾(Intel)創(chuàng)始人之一戈登·摩爾提出大名鼎鼎的摩爾定律(集成電路可容納的晶體管數(shù)目，約每隔兩年便會(huì)增加一倍)，從而讓更多企業(yè)關(guān)注到芯片精度這個(gè)問(wèn)題。

ASML制造的第一臺(tái)光刻機(jī)就在此背景下誕生。

實(shí)際上，ASML的一部分前身是ASM，一家荷蘭的從事半導(dǎo)體設(shè)備制造的科技公司;而另一部分前身是飛利浦，兩家距離60英里。

當(dāng)時(shí)，飛利浦品牌家喻戶曉，該公司專注于投入電路技術(shù)研發(fā)，并沒(méi)有自造光刻機(jī)想法。但一次內(nèi)部定期討論中，飛利浦半導(dǎo)體和材料部Elcoma與前沿技術(shù)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室Natlab的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，雙方就掩膜技術(shù)先進(jìn)性是否能生產(chǎn)芯片而爭(zhēng)吵起來(lái)。隨后達(dá)成約定——合作制造一臺(tái)光刻機(jī)。

1967年，技術(shù)團(tuán)隊(duì)首次在飛利浦內(nèi)部展示6鏡頭重復(fù)曝光光刻機(jī)的原型，實(shí)現(xiàn)該公司在光刻機(jī)領(lǐng)域零的突破。

不過(guò)，高層內(nèi)部并不看好這一設(shè)備的商業(yè)化前景，因此光刻機(jī)研發(fā)停滯不前。

由于飛利浦資金狀況非常糟糕，一直以來(lái)靠政府和銀行補(bǔ)貼續(xù)命。1980年前后，該公司遇到經(jīng)營(yíng)危機(jī)，飛利浦希望放棄非核心業(yè)務(wù)，目標(biāo)是把光刻機(jī)業(yè)務(wù)賣(mài)給領(lǐng)先的美國(guó)公司，或是賣(mài)給崛起中的日本光刻機(jī)公司。

而ASM的創(chuàng)始人德?tīng)?middot;普拉多一直希望尋找一個(gè)機(jī)會(huì)和飛利浦合作。當(dāng)飛利浦S&I的技術(shù)董事喬治·德·克魯伊夫在看報(bào)紙的時(shí)候，讀到了ASM的成功故事，對(duì)其十分感興趣。在了解之后，發(fā)現(xiàn)德?tīng)?middot;普拉多還挺有錢(qián)的。

四年后的1984年，經(jīng)過(guò)漫長(zhǎng)的談判，光刻機(jī)業(yè)務(wù)從飛利浦中獨(dú)立，建立合資公司ASML。其中，飛利浦和MIP(一家私募股本基金)分別獲得30%的股份，作為項(xiàng)目的主導(dǎo)者，ASM獲得40%的股份，讓這家荷蘭電子制造商登上歷史舞臺(tái)。

在真正成功之前，飛利浦對(duì)ASML投資了超過(guò)1億美元。

ASML定下市場(chǎng)第一目標(biāo)

在銳對(duì)話連線直播中，雷吉梅克表示，盡管當(dāng)時(shí)整個(gè)光刻機(jī)市場(chǎng)被美國(guó)GCA和尼康壟斷，但在ASML成立的一開(kāi)始，他們并不滿足此時(shí)的技術(shù)研發(fā)成就，目標(biāo)則是要“征服世界”。

“從飛利浦剝離獨(dú)立的1984年，ASML在當(dāng)時(shí)制造光刻機(jī)公司排名的名單上墊底，位于倒數(shù)第一，當(dāng)時(shí)的霸主是美國(guó)GCA和日本的尼康。但ASML認(rèn)為，在光刻機(jī)領(lǐng)域，爭(zhēng)取第二名或第三名是沒(méi)有用的，只有成為第一名，這樣才能成為贏家。”

“當(dāng)時(shí)ASML整合了來(lái)自飛利浦的研究團(tuán)隊(duì)，因此他們具有遠(yuǎn)大理想。當(dāng)時(shí)他們認(rèn)為，如果一開(kāi)始就沒(méi)有成為第一名的雄心，就沒(méi)必要開(kāi)始去做。”

“不管是第二名，還是第三名，是不可能贏，也不可能成為行業(yè)的佼佼者。我覺(jué)得ASML當(dāng)時(shí)認(rèn)為，因?yàn)檫@個(gè)行業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)太過(guò)殘酷，所以，如果不在第一名，還不如關(guān)掉公司。”

在這樣的雄心壯志下，ASML走上了快速發(fā)展的道路。

兩位“貴人”+傾聽(tīng)客戶意見(jiàn)，ASML戰(zhàn)勝競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手取得成功

雷吉梅克表示，回顧過(guò)去40年ASML發(fā)展歷程，ASML能夠取得成功，主要有兩個(gè)原因：一是由于臺(tái)積電和英特爾兩位”貴人“的支持，ASML能夠成功研發(fā)并量產(chǎn)浸潤(rùn)式光刻機(jī)和EUV光刻機(jī)，企業(yè)快速崛起;另一方面，ASML會(huì)傾聽(tīng)客戶的意見(jiàn)，讓先進(jìn)技術(shù)快速迭代，獲得客戶青睞。

最終，在激烈競(jìng)爭(zhēng)、風(fēng)云變幻的變局環(huán)境中，ASML戰(zhàn)勝競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手取得成功，成為芯片產(chǎn)業(yè)不可缺少的一部分。

1、兩位“貴人”

2004年，ASML和臺(tái)積電共同研發(fā)出第一臺(tái)浸潤(rùn)式微影光刻機(jī)，優(yōu)秀的性能和穩(wěn)定的技術(shù)，波長(zhǎng)達(dá)132nm，全面碾壓尼康的157nm，獲得行業(yè)關(guān)注。

雷吉梅克在銳對(duì)話中稱，其實(shí)ASML能夠遇到這個(gè)“貴人”的主要原因，是由于臺(tái)積電、飛利浦和ASML三家之間有密切的開(kāi)發(fā)關(guān)系。

“臺(tái)積電實(shí)際上是在80年代末開(kāi)始起家的，和飛利浦有著很久的歷史淵源。臺(tái)積電利用的是飛利浦公司開(kāi)發(fā)的芯片生產(chǎn)技術(shù)，雙方有交叉協(xié)議，所以在二十年前，飛利浦在臺(tái)積電有股份，大約10%左右，但現(xiàn)在是沒(méi)有股份的。”雷吉梅克表示。

“加上飛利浦的芯片是ASML機(jī)器制造的。因此，三家有著密切的聯(lián)系，臺(tái)積電使用ASML機(jī)器也就不足為奇了。”

正因如此，臺(tái)積電成為ASML遇到的第一個(gè)“貴人”。在技術(shù)、人才、資金方面持續(xù)加碼，ASML快速蠶食光刻機(jī)市場(chǎng)份額，將昔日光刻機(jī)大國(guó)美國(guó)拉下馬，與舊王者GCA平起平坐。

ASML的光刻機(jī)原型

隨后，在巨大的產(chǎn)業(yè)推動(dòng)下，另一家芯片巨頭英特爾登場(chǎng)，該公司提出入股等需求，開(kāi)始與ASML“綁定”，成為ASML的第二個(gè)“貴人”。

早在1997年，英特爾為了推動(dòng)摩爾定律在未來(lái)幾十年繼續(xù)有效，聯(lián)合政府、企業(yè)建立了芯片業(yè)最為頂級(jí)的EUV LLC前沿技術(shù)組織，研究、推動(dòng)EUV這項(xiàng)技術(shù)發(fā)展。當(dāng)然，ASML在這一組織成員名單其中，但尼康、佳能卻排除在外。

在銳對(duì)話連線直播中，雷吉梅克形容，這一組織像是一個(gè)投資承諾，確定芯片生產(chǎn)商需要EUV光刻機(jī)，請(qǐng)更多廠商參與、幫助開(kāi)發(fā)這項(xiàng)技術(shù)。

“對(duì)于ASML來(lái)說(shuō)，這是一個(gè)重要的信息(來(lái)源)。它實(shí)際上是推進(jìn)EUV光刻機(jī)向前發(fā)展的綠燈，并且讓客戶對(duì)這項(xiàng)技術(shù)投入能夠做出很大的回報(bào)承諾。”

2012年10月，在政府許可下，ASML斥資19.5億歐元(25億美元)收購(gòu)美國(guó)頂級(jí)光源企業(yè)Cymer，其主要制造激光器，這加速了ASML EUV光刻機(jī)的研發(fā)之路。

由于有臺(tái)積電、英特爾的支持，經(jīng)過(guò)十年的研發(fā)過(guò)程，2015年，ASML終于將EUV光刻工藝處于可量產(chǎn)的狀態(tài)。

隨后的5年時(shí)間里，尼康失去了50%以上的光刻機(jī)市場(chǎng)份額。

雷吉梅克表示，在EUV這個(gè)技術(shù)領(lǐng)域中，ASML擁有大量受保護(hù)的專利和知識(shí)產(chǎn)權(quán)，并且可以發(fā)明和創(chuàng)造光刻機(jī)機(jī)器，這讓ASML將處于長(zhǎng)期技術(shù)壟斷地位。

EUV工藝光刻出的晶圓樣品(來(lái)源：國(guó)際半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì))

截至目前，ASML公司擁有三家全資子公司，包括計(jì)算光刻集成電路廠商Brion、準(zhǔn)分子激光源提供商Cymer、電子束晶圓檢測(cè)設(shè)備廠商HermesMicrovision，在先進(jìn)光刻機(jī)技術(shù)方面獨(dú)步成霸。

2、ASML成功秘籍——傾聽(tīng)客戶意見(jiàn)

雷吉梅克在銳對(duì)話中指出，其實(shí)當(dāng)時(shí)尼康、佳能、英特爾對(duì)外界的態(tài)度十分“傲慢”，加上日本、IBM等企業(yè)無(wú)視浸潤(rùn)式技術(shù)，讓臺(tái)積電不得不選擇ASML，從而推動(dòng)快速芯片制造的研發(fā)進(jìn)程。

“實(shí)際上，荷蘭人認(rèn)為英特爾是一個(gè)非常傲慢的公司。因?yàn)樵?0年代初，英特爾采取的是大公司的模式生產(chǎn)芯片，他們會(huì)有很多要求。而實(shí)際上，ASML從來(lái)沒(méi)有成功地將這些要求應(yīng)用到芯片生產(chǎn)中。”

當(dāng)蠶食掉市場(chǎng)份額的時(shí)候，ASML并沒(méi)有像競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手那樣傲慢和無(wú)視，更多希望傾聽(tīng)客戶意見(jiàn)，將技術(shù)不斷升級(jí)打磨，得到客戶的青睞。

“ASML首席執(zhí)行官是一個(gè)集思廣益的人，每?jī)芍芫蜁?huì)飛到客戶那里，傾聽(tīng)客戶意見(jiàn)，然后回到公司開(kāi)會(huì)探討，與客戶以及他們自己的團(tuán)隊(duì)進(jìn)行深入的溝通，這可能是ASML取得成功的因素之一。”雷吉梅克說(shuō)。

不過(guò)，在資金補(bǔ)助部分，雷吉梅克認(rèn)為，盡管ASML一直處于政府支持狀態(tài)，但也有中國(guó)企業(yè)不需要政府補(bǔ)助，都獨(dú)立生存下來(lái)，因此，這并不意味著更多企業(yè)效仿ASML的崛起之路。

“在某種程度上來(lái)說(shuō)，政府補(bǔ)助是件好事。政府有能力提供資金，確保在競(jìng)爭(zhēng)中有充分的彈藥支持，這是提高競(jìng)爭(zhēng)力的重要因素之一。但同時(shí)，我不認(rèn)為這是一個(gè)絕對(duì)必要的因素。你看中國(guó)的華為和阿里巴巴，他們獨(dú)立而強(qiáng)大，更值得我們學(xué)習(xí)。”

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責(zé)任編輯：Rex_07